Description
AMAT 0100-77037
AMAT 0100-77037 产品说明
AMAT 0100-77037 是一款用于半导体制造的蚀刻腔体组件。它具有以下特点:
高精度:采用先进的制造工艺,可确保蚀刻精度。
高性能:蚀刻速率高,均匀性好。
可靠性高:采用高品质材料,使用寿命长。
易于使用:安装和维护方便。
兼容性好:可与多种半导体制造设备兼容。
产品参数
型号:0100-77037
适用晶圆尺寸:8 英寸
蚀刻工艺:RIE、ICP
蚀刻材料:硅、氮化硅、氧化硅等
蚀刻速率:>10 µm/min
均匀性:<±5%
使用寿命:>1000 批次
尺寸:1000 x 1000 x 500 mm
重量:100 kg
产品应用
AMAT 0100-77037 适用于以下应用:
半导体制造:可用于制造各种半导体器件,如晶体管、集成电路等。
微电子器件制造:可用于制造微电子器件,如微处理器、存储器等。
光电子器件制造:可用于制造光电子器件,如光电二极管、发光二极管等。