Description
LAM 810-068158-015
LAM 810-068158-015 产品说明
产品概述
型号: LAM 810-068158-015
类型: 蚀刻机器人接口板
功能: 用于连接蚀刻机器人和控制系统,实现对蚀刻机器人的控制和监测。
特点:
高可靠性
易于安装
可扩展性
应用:
半导体制造
光伏制造
其他需要蚀刻工艺的行业
产品参数:
接口类型: RS-232, Ethernet
电源: 24VDC
尺寸: 225mm x 175mm x 85mm
重量: 2kg
产品应用:
控制蚀刻机器人的运动
监测蚀刻工艺参数
诊断蚀刻机器人故障
数据采集
远程控制